リニアサーボシステム
高速,高精度が必要とされる用途に適しています。
半導体製造装置,液晶ディスプレイ製造装置,チップマウンタ,ボンダ,搬送装置などに最適です。

装置に磁気吸引力が作用しない
センターマグネットタイプを業界で初めて製品化しました。
モータ自身で磁気吸引力を打ち消すことができ,装置の構造を簡素にできます。
業界トップの加速度
25Gを達成し,業界トップの加速度を実現しました。※1
装置を高速に駆動でき,サイクルタイムの短縮と生産性の向上に貢献します。
小型,大推力
当社従来品※2と比べてセンターマグネットタイプは30%,ツインタイプは12%小さくなりました。
推力密度は,当社従来品※2と比べてセンターマグネットタイプは42%,ツインタイプは13%向上し,業界トップの性能です。※2


※1 類似形状のコア付型リニアサーボモータと比較した場合。2016年4月25日現在,当社調べ。
※2 当社従来品 リニアサーボシステム コア付ツインタイプ(型番:DD045CB4AN)